半导体工艺(第16卷)-材料科学与技术丛书
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作者: 卡恩
出 版 社: 科学出版社
出版时间: 1999-6-1字数:版次:页数: 0印刷时间:开本:印次:纸张:I S B N : 9787030072603包装: 精装编辑推荐
本书目录简介:一、硅工艺;二、化合物半导体工艺;三、外延生长;四、光刻;五、选择性掺杂;六、半导体工艺中的刻蚀工艺等。